Copyright 2002-2005 Your Web Site Inc. All Rights Reserved.

Πανεπιστήμιο
Πατρών


Γενικό
Τμήμα






Αρχική    Περιγραφή    Προδιαγραφές    Φωτογραφίες    Επικοινωνία    Ευχαριστίες


Τι είναι η Λιθογραφία Ηλεκτρονικής Δέσμης;

Η Λιθογραφία Ηλεκτρονικής Δέσμης είναι μια εξειδικευμένη τεχνική για την κατασκευή πολύ μικρών τεχνιτών νανοδομών σε μια επιφάνεια με την χρήση μιας κατευθυνόμενης εστιαζόμενης ηλεκτορνικής δέσμης. Ο σκοπός είναι, όπως και με την κλασσική φωτολιθογραφία, να δημιουργηθούν πολύ μικρές δομές επάνω σε ένα φωτο-ευαίσθητο πολυμερές οι οποίες ακολούθως μπορούν να μεταφερθούν σε ένα υλικό υπόστρωμα, συνήθως με χημική χαρακτική. Αλλά ενώ η ανάλυση στην φωτολιθογραφία περιορίζεται από το μήκος κύματος που χρησιμοποιείται για την έκθεση, η ηλεκτρονική δέσμης έχει ένα μήκος κύματος τόσο μικρό που η περίθλαση πλέον δεν επηρεάζει την ανάλυση της λιθογραφίας.