Copyright 2002-2005 Your Web Site Inc. All Rights Reserved.
Πανεπιστήμιο
Πατρών
Γενικό
Τμήμα
Αρχική
Περιγραφή
Προδιαγραφές
Φωτογραφίες
Επικοινωνία
Ευχαριστίες
Προδιαγραφές Εργαστηρίου
Ηλεκτρονικό Μικροσκόπιο Σάρωσης (SEM) με πηγή LaB6, ολοκληρωμένο με σύστημα Λιθογραφίας Ηλεκτρονικής Δέσμης (EBL)
SEM: Τάση επιτάχυνσης 30 kV, ανάλυση 3 nm, μεγένθυνση x 300.000, ρεύμα δέσμης 1 pA 1 ΅A, βάση 5 αξόνων X-Y-Z-R-T, επιλογή χαμηλού κενού για παρατήρηση μη-αγώγιμων δειγμάτων.
EBL: Γενήτρια νανοδομών από υπολογιστή PC με βασικά σχήματα, ανάλυση 20 nm resolution, ταχύτητα εγγραφής 10 MHz, βάση laser 2 αξόνων, χρόνος αποκοπής 25 nsec, μέγιστη κάλυψη 100 Χ 100 mm, σφάλμα συρραφής 10nm.
Photoresist Spin Coater
Gold sputtering